本研究では, トンネル現象を利用した非接触マイクロ形状測定装置の開発を試み, 測定原理, 装置の構成について述べると共に, 試作装置による測定結果を示し, 本測定手法が有効であることを示した.
主な結果を以下にまとめる.
(1) トンネル現象を利用した非接触マイクロ形状測定装置により微小な表面形状, 穴の内部形状, 段差形状の測定を行い, 本測定法が微細な部品の三次元形状測定に利用できることを示した.
(2) 長焦点顕微鏡画像を併用することにより, 例えば, 微小な穴の内部形状測定で, 探針先端と穴端面との位置関係を正確に認識できることを示し, マイクロ部品形状計測における視覚補助装置として有効に利用できることを示した.
(3) マイクロ型彫り放電加工により製作したX型, X-Z型探針を使用することにより, 穴の内部形状の測定が可能なこと, 段差形状の測定では試料の底面, 側面, 上面を試料の姿勢を変えることなく連続して測定することが可能なことを示した.